Sim, eles provocariam um ataque de oportunidade para um ataque de carga contra uma criatura com Reach: 5 feet.
Cenário explicativo
A criatura pequena, diminuta ou fina faz sua carga (contra uma criatura pequena ou maior), mas então tem que entrar no quadrado do adversário para atacar 1 , provoca um ataque de oportunidades , e é permitido fazer o ataque 2 .
Notas de rodapé explicativas1 Criaturas diminutas, finas e minúsculas
Creatures that take up less than 1 square of space typically have a natural reach of 0 feet, meaning they can’t reach into adjacent squares. They must enter an opponent’s square to attack in melee. This provokes an attack of opportunity from the opponent.
After moving, you may make a single melee attack.