Eu postei anteriormente uma resposta curta, mas como ela foi excluída, agora encontrei uma referência: Glossário de Star Wars: Darth (About.com)
Da explicação:
Definição : O título "Darth", indicando um Sith, apareceu pela primeira vez com Darth Vader no Episódio IV: Uma Nova Esperança. No início, foi tratado quase como um primeiro nome; Obi-Wan Kenobi chama Vader simplesmente como "Darth" no filme, e Splinter of the Mind's Eye refere-se a ele como "Lord Darth Vader". Com o crescimento do universo de Star Wars, "Darth" se tornou um título usado pelos Lordes Negros dos Sith.
In-universe : As origens etimológicas do título Darth não são claras e são contestadas. Pode ser tão simples quanto uma contração de "Lorde das Trevas dos Sith". Alternativamente, pode ser derivado de Daritha, a palavra para "Imperador" na língua dos Rakata, uma espécie humanóide que controlou um poderoso império milhares de anos antes da República Galáctica. Pode também vir do Rakatan darr tah, que significa "triunfo sobre a morte" (isto é, imortalidade, o objetivo final dos Sith) ou "conquista pela morte" (isto é, a destruição dos inimigos).
Esta informação no universo é encontrada no livro Jedi vs. Sith: O Guia Essencial para a Força , que diz o seguinte na seção "O Título Darth ":
Many of the Dark Lords of the Sith chose to add the Darth honorific to their name. The very word has become synonymous with the wondrous power of the dark side. However, the origins of the word are unclear. While many see Darth as nothing more than a contraction of Dark Lord of the Sith, there is some evidence for a deeper interpretation of the term.
Darth Revan and Darth Malak are generally believed to be the first Dark Lords to have used the title. Given that much of their power was derived from the Star Forge, a creation of the extinct Rakata species, some historians see Darth as a corruption of Daritha, the Rakatan word for "emperor." Similarly, others note that the word for "triumph" or "conquest" in Rakatan is darr, and the word for "death" is tah. This has led to theories that Darth is derived from darr tah and means "triumph over death" or "immortal." A competing theory asserts that the true meaning of darr tah is "conquest through death"...of one's enemies.
Numerous other cultures or species can—and do—make similar claims to the etymology of the Darth title. In the end, however, there is no definitive answer.