1. Porque ele ainda estava tentando resgatar seu pai:

Luke: Then you know why I have to face him.

Leia: No! Luke, run away, far away! If he can feel your presence, then leave this place! I wish I could go with you.

Luke: No, you don't. You've always been strong.

Leia: But why must you confront him?

Luke: Because there is good in him. I've felt it. He won't turn me over to the Emperor. I can save him. I can turn him back to the good side. I have to try. [kisses Leia on the cheek, then leaves]

2. Porque ele esperava salvar seu pai ou morrer tentando:

Palpatine: Ah, yes, a Jedi's weapon, much like your father's. By now you must know that your father can never be turned from the dark side. So will it be with you.

Luke: You're wrong. Soon I'll be dead, and you with me.

3. Porque ele não podia esperar matar o Imperador sem fazê-lo em ódio, o que transformaria Luke no Lado Negro:

Emperor Palpatine: [laughing] Good! Your hate has made you powerful. Now, fulfill your destiny and take your father's place at my side!

E:

Palpatine: I can feel your anger. I am defenseless. Take your weapon. Strike me down with all of your hatred and your journey towards the dark side will be complete!

E:

Palpatine: You want this, don't you? The hate is swelling in you now. Take your Jedi weapon. Use it. I am unarmed. Strike me down with it! Give into your anger! With each passing moment, you make yourself more my servant.

Luke: No.

Palpatine: It is unavoidable. It is your destiny. You, like your father, are now...mine.

E:

Palpatine: Good! Use your aggressive feelings, boy. Let the hate flow through you!

4. Porque ele ainda acreditava que a Estrela da Morte, e Palpatine com ela, logo seriam destruídos de qualquer forma:

[See quote under #2, above]

5. Porque Palpatine claramente queria que ele tentasse, e é melhor não fazer o que Palpatine quer que você faça:

[See quotes under #3, above]

6. Porque ele não sabia que o Force Lightning existia, então ele provavelmente assumiu que Palpatine estava desarmado e indefeso; assim, ele estaria matando um homem desarmado:

The young Jedi was all at once confounded and in agony—he’d never heard of such a power, such a corruption of the Force, let alone experienced it.
- Return of the Jedi - The Official Novelization

7. Porque provavelmente ^{definitivamente} não teria funcionado de qualquer maneira:

Veja o que aconteceu quando quatro Cavaleiros Jedi altamente treinados, que estavam estudando com um grande número de poderosos Mestres Jedi desde que eram crianças pequenas, enfrentaram o Imperador:

Demorou Palpatine DEZ SEGUNDOS para matar TRÊS dos melhores Jedi da galáxia . Eles tiveram décadas de treinamento em seus cintos. Luke, por outro lado, passou UMA SEMANA com Obi Wan, e talvez outro mês com Yoda. Ele não teria a menor chance de machucar o Imperador, quanto mais matá-lo. Ele simplesmente não era bom o suficiente.

Mesmo Yoda não conseguiu vencer Palpatine em uma luta de sabre de luz:

Compare as técnicas do sabre de luz de Mace Windu, Yoda e Imperador Palpatine com a técnica de Luke em seu duelo final com Vader:

Esta é uma abordagem de marreta. Ele está apenas se afastando o máximo que pode, esperando que algo caia. Os outros fazem o combate ao sabre de luz parecer uma arte; Luke faz parecer que ele está tentando bater uma piñata. Ele não tem o que é preciso para bater um verdadeiro profissional. É por isso que isso aconteceu:

Palpatine raised his spidery arms toward Luke: blinding white bolts of energy coruscated from his fingers, shot across the room like sorcerous lightning, and tore through the boy’s insides, looking for ground. The young Jedi was all at once confounded and in agony—he’d never heard of such a power, such a corruption of the Force, let alone experienced it. But if it was Force-generated, it could be Force-repelled. Luke raised his arms to deflect the bolts. Initially, he was successful—the lightning rebounded from his touch, harmlessly into the walls. Soon, though, the shocks came with such speed and power, they coursed over and into him, and he could only shrink before them, convulsed with pain, his knees buckling, his powers at ebb.
- ibid

Isso teria acontecido independentemente de Luke estar ou não disposto a lutar contra o Imperador. E se ele tivesse, é provável (em minha opinião) que Vader estivesse menos inclinado a intervir em favor de Luke. Vader se aproximou do prato porque seu filho estava sendo torturado até a morte enquanto estava desarmado e incapaz de se defender, não porque ele escolheu uma luta que ele não poderia vencer.

Lembre-se, o principal objetivo de Lucas era não matar o Imperador - ele imaginou que o Imperador morreria quando a Estrela da Morte fosse destruída de qualquer forma. Seu principal objetivo era salvar seu pai , e ele fez isso da única maneira que ele achava possível:

Luke: Never. I'll never turn to the Dark Side. You have failed, Your Highness. I am a Jedi, like my father before me.

Palpatine: [angrily] So be it... Jedi!

Luke refuses to give in to Palpatine's demands and disarms himself.]

Palpatine: [raising his hands toward Luke] If you will not be turned, you will be destroyed! [Fires lightning bolts at Luke, causing him to fall to the floor in agony. Darth Vader gets up and stands next to Palpatine, watching.] Young fool. Only now, at the end, do you understand. [shoots another round of lightning] Your feeble skills are no match for the power of the Dark Side! You have paid the price for your lack of vision! [continues shooting lightning]

Luke: [writhing in agony] Father, please! Help me!

Palpatine: Now, young Skywalker... you will die. [intensifies lightning blasts]

Darth Vader/Anakin Skywalker: [looks back and forth at Luke and Palpatine. He grabs Palpatine from behind and throws him down into the reactor shaft]

[A redeemed Anakin Skywalker is dying in Luke's arms]

Anakin Skywalker: Luke, help me take this mask off.

Luke: But you'll die!

Anakin: Nothing can stop that now. Just for once, let me look on you with my own eyes. [Luke carefully removes Vader's mask to reveal Anakin's disfigured face underneath.] Now...go, my son. Leave me.

Luke: No, you're coming with me. I won't leave you here. I've got to save you!

Anakin: [smiles] You already have, Luke. You were right. You were right about me... Tell your sister... you were right... [dies]

O ponto é este: Luke não poderia ter derrotado o Imperador de outra maneira. Sua única esperança era conseguir que seu pai o ajudasse. Qual é precisamente o que ele fez.

Quanto à sua subquestão:

Why would he waste this perfect opportunity to safely kill the Emperor the way Yoda and Ben would have wanted?

Eu já deixei claro que, na minha opinião, Yoda nunca sugeriu que Luke deveria matar Vader, e Obi Wan pode ter cometido um erro ao dizer que Luke tinha strong para matar Vader ou falhar. Mesmo se ambos realmente queriam que Luke matasse Vader, eles estão claramente muito felizes por terem sido provados errados :

Lembre-se: Mesmo os grandes mestres Jedi às vezes estão errados.

Lembre-se:

A Jedi uses the Force for knowledge and defense, never for attack

Combinado com o fato de que Luke diz:

I am a Jedi, like my father before me.

naquele momento parece indicar que ele escolheu o caminho Jedi pacífico.

Todo o conceito de que "Yoda e Ben teriam desejado" que ele matasse o imperador ou que "um verdadeiro Jedi" me faria pensar se você visse alguns outros filmes dos que eu vi. A ideia de matar o Imperador naquele momento parece a própria essência do Lado Negro. Lembre-se que o próprio Imperador encoraja Luke a matá-lo:

Take your weapon! Strike me down with all of your hatred and your journey towards the Dark Side will be complete!

É indiscutivelmente o momento mais importante em toda a trilogia. Por sua escolha, Luke está rompendo com o legado que herdou de seu pai. Ao escolher o pacífico caminho Jedi e o lado da luz da Força, ele derrota o Imperador da única maneira que ele pode ser derrotado. Esse é o momento que é realmente o "Retorno do Jedi". Yoda diz a ele que ele deve confrontar Vader novamente antes que ele seja um Jedi, e este é o resultado desse confronto final. A essência do confronto final não é que ele deva derrotar Vader para se tornar um Jedi, mas ele deve poupar Vader e até mesmo perdoar Vader antes que ele seja um Jedi.

A escolha de Luke também inspira Vader a reconsiderar suas escolhas. Ele é capaz de ver Lucas como seu filho, em vez de um opulento, e sua compaixão renasce nele. Note que quando Vader mata o Imperador, é um ato de auto-sacrifício e ele não usa a Força para fazê-lo.

Em termos de todo o arco da história, é interessante que os fatores importantes na vitória da Aliança Rebelde no final de Jedi são a escolha de Luke e a amizade dos Ewoks em Endor. Pode ser visto como uma fábula com a mensagem (se bem que um pouco clichê) honrada pelo tempo de que o amor e a compaixão podem derrotar as forças sinistras esmagadoras.

Eu acho que ele subestimou o poder do Imperador (apesar de Yoda tê-lo advertido a não fazer exatamente isso). Houve uma mudança fundamental no Vader do Episódio V para o VI e eu não me importei com isso. Ele vai do rabo do galáxia para um cachorro velho e cansado. Eu também não sou fã de todo o arco de redenção da história. Este é um homem que matou contagens desconhecidas com sua própria mão, foi complicado em genocídio (Alderon), e o que ele realmente fez no final. Ele salvou seu filho da morte. Não é a principal razão pela qual ele se voltou para o lado sombrio em primeiro lugar para salvar sua esposa? Desculpe, mas se Heinrich Himmler "encontrou Deus" no final da guerra, nós apenas diríamos "oh, não há problema, bem-vindo de volta ao rebanho" Eu realmente não gosto dessa idéia. Eles repetiram no TFA. Kylo matou quantos e permaneceu enquanto todo um sistema estelar foi destruído e sua mãe quer "trazê-lo para casa". Desculpe, mas há algumas coisas de que não há como voltar.