Nunca houve nenhum alienígena (bilógico), apenas o TET . A mensagem de Titan era do TET sozinho, uma entidade completamente artificial. O TET atacou e devastou a terra para drenar seus recursos. A história toda sobre um ataque alienígena que é contada para Jack e Victoria (e todos os outros) foi apenas uma encenação para mantê-lo mantendo os drones e ficar longe dos restantes resistência humana, que ele pensava ser os alienígenas. O TET é o "alien real" para esse assunto.
Quanto à questão de quem, por sua vez, criou o TET (e talvez seja isso que você realmente quis dizer com a pergunta). Isso nunca é abordado no filme e também não devemos saber nada sobre isso. Tudo o que devemos saber é apenas o TET e o facto de não termos qualquer informação sobre o assunto acrescenta, em grande medida, o seu fascínio. É uma entidade completamente autônoma aparecendo do nada, uma máquina viva e, portanto, não menos "real" do que você e eu.